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定的是,英特尔的10nm与台记的10nm都不会采用EUV,它们最快也是在下个节点才会导入,而7nm节点至少也是2018年,乃至2019年的事了。
如此一来,冰芯在制程工艺上仍能保持3-4年的优秀竞争力,进而有更多精力放在内地行业的水平提升之上。
届时,又是另一番场景了。
方卓站在厂区门口收获不少注视,他刚要去吃个食堂就见手机有来自梁孟淞的电话。
“喂,方总,你怎么也不打个电话,和我说个新年快乐?”电话另一端的梁孟淞开口这样说了一句。
方卓差点以为对面不是梁博士了,他愣了几秒,说道:“梁博士,我生怕打扰到你,就昨天夜里给你发了条短信。”
“嗯,我看到了。”梁孟淞说道,“和你开个玩笑。”
方卓觉着这个玩笑有点生硬,但察觉到对面的心情似乎不错,而梁博士本人又是一个工作狂,他笑道:“是研发上的进度不错?”
“中芯不少设备确实比我们的先进,放在这里真可惜了。”梁孟淞的语气归于平静,“给你打电话就是想告诉你,我们用SAQP四重曝光技术确实存在困难,其中最难以解决的地方是小线宽下怎么保持低电阻和高迁移率,引入Co材料进行互联碰见了不少问题。”
方卓有点奇怪的问道:“最难以解决的不是DTCO技术对全局晶体管密度的提升吗?通过应用SDG,减少传统的DummyGate的使用,增加单位面积下能容纳的晶体管。”
梁孟淞在电话里沉默一会,淡淡的说道:“方总,你不要鹦鹉学舌,要不,你来这边主持研发吧。”
方卓有些讪讪:“你说,你说。”
“就是……”梁孟淞这样说了两个字忽然卡住,片刻后无奈的说道,“就是有许多问题,但我有信心,预计到年底可以尝试流片,最快的量产是明年一季度。”
方卓这次保持了简洁:“好。”
梁孟淞等了几秒,没等来更多的夸奖。
他整理思绪,继续说着这通电话想谈的第二个重要事情:“10nm工艺还有开发空间,简单说,可以通过放宽尺寸来提高性能,在FinFET晶体管部分增加额外的GatePitch选择,降低阻抗,增加漏极,提升通道迁移率,也就是继续打造亚代工艺技术,这会是我们一个不错的选择。”
方卓简洁到底:“我相信你。”
“你理解什么意思吗?”梁孟淞不
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